IV和CV特性测试：利用参数分析仪对半导体器件进行IV（电流-电压）和CV（电容-电压）特性测试，能够获得器件的电阻特性、电容特性和晶体管的增益特性，这些数据对于理解器件的工作机制和性能至关重要。
工艺参数测试：通过精密的电学特性测量，参数分析仪可以揭示器件的工艺参数和物理信息，如离子注入浓度、薄膜厚度、线宽和氧化电荷等，这些信息有助于改进制造工艺和提高器件性能。
动态性能测试：参数分析仪可以测量器件的动态参数，如频率响应、增益和相位特性，这对于高频应用尤为重要。
可靠性测试：通过测试器件在不同温度和偏置条件下的性能，参数分析仪有助于评估器件的长期可靠性。
故障分析：当半导体器件出现故障时，参数分析仪可以用于故障分析，通过测量故障器件的电参数来确定故障原因。
优化测试流程：参数分析仪的自动化测试功能可以优化测试流程，提高测试效率和准确性，从而加快半导体器件的研发和生产周期。
数据采集与分析：自动化测试环境中，参数分析仪通常与测试机（ATE）集成，实现数据的自动采集和分析，这对于提高测试效率和准确性非常有帮助。
高电压和大电流测试：对于高功率应用，参数分析仪可以进行高电压和大电流测试，这对于评估功率器件的性能至关重要。
温度特性测试：参数分析仪还可以进行温度特性测试，这对于评估器件在不同温度下的性能和稳定性非常重要。
